Lightron Co., Ltd.

【検査装置】

概要	CCDフォトマスク等の繰り返しパターンにおける、微細な線幅変動を高速・高感度に検査します。
概説	従来の検査方法である線幅測定等では検出することが不可能か、非常に困難であった数ｎｍの線幅変動を、特殊な光学系・アルゴリズムを開発することで非常に高速に検出することが可能になりました。 SD-2000MK2を使用すると、各EB描画機の僅かなクセまでも可視化することが可能です。